Серия установок Carbozen ™ -C (PECVD: нанесение покрытий путем химического осаждения из паров плазмы) применяет метод химического осаждения из газовой фазы и использует плазму для разложения ионного газа, путем генерирования тлеющего разряда.
 

Преимущества CARBOZEN™-C

• Позволяет формировать слой покрытия высокой чистоты
• Возможность формировать слои различных покрытий из исходного газа
• Высокая скорость осаждения и однородность для крупномасштабных областей
• Легко управляется и может применяться в массовом производстве
• Низкая температура для ионного осаждения

Область применения

DLC поверхности
Пластины световодов, CD формы и зеркальные компонентов дисплеев.

Внутреннее DLC покрытие
Детали компрессоров для холодильников и труб химического оборудования

Характеристики системы