Описание

Установка sciaMulti 680 предназначена для формирования многослойных покрытий на подложках диаметром до 650 мм и весом до 50 кг. Основной сферой применения является создание градиентных многослойных покрытий зеркал для мягкого рентгеновского излучения и неотражающих покрытий в ультрафиолетовых и рентгеновских приложениях.

В установке sciaMulti 680 используется 6 радиально расположенных магнетронов для распыления, каждый из которых установлен в отдельном корпусе для индивидуальной подачи газа и заданного профиля эмиссии частиц. Подложка перемещается вдоль магнетронов по круговой траектории в положении лицевой стороной вниз с помощью двухфазного двойного привода вращения. Каждый орбитальный оборот создает один период многослойного покрытия. Предварительный расчет профилей орбитального вращения позволяет компенсировать отдельные эмиссионные профили магнетронов и осаждать требуемые градиентные пленки вдоль спиновой оси вращения.

Свойства:

• Система подачи с загрузочным шлюзом и двумя независимыми положениями подложек
• Ориентация подложки лицом вниз для минимизации нагрузки пучком частиц
• Высокоточные однородные или градиентные пленки на изогнутых подложках с помощью комбинированного орбитального и спинового вращения с модулированной скоростью
• Произвольный порядок магнетронов для периодического многослойного и/или адгезионного или верхнего покрытия
• Регулируемое расстояние распыления между мишенью и подложкой

Области применения:

• Многослойные покрытия для зеркал мягкого рентгеновского излучения
• Многослойные покрытия для рентгеновских зеркал для тракта пучка и аналитических приложений
• Многослойные покрытия для пропускающей излучение УФ оптики

Технические характеристики