Описание:

NANO-MASTER NTE-3000 представляет собой управляемую ПК настольную систему термического напыления, с широкой областью применения в части органического и металлического напыления. В данной системе мощностью 2 кВА применяется схема на однооперационном тринисторе, которая предназначена для критически-важного, точного управления температурой при нанесении органических материалов. При разработке компактной системы были приложены все усилия, невправленные на достижение чистых, однородных и воспроизводимых процессов. Данная бюджетная система обладает превосходными характеристиками и возможностями, которые соответствуют требованиям самых сложных задач в области НИОКР и маломасштабного производства.

NTE-4000 является автономной версией системы термического напыления NTE-3000, которая позволяет использовать дополнительные возможности, такие как различные размеры камер, очистка и охлаждение подложки, совместное напыление и распыление.

Характеристики:

• 12-дюймовая камера колокольного типа/10-дюймовая цилиндрическая камера из нержавеющей стали/14-дюймовая кубическая камера из нержавеющей стали;
• Пластины 7x7 дюймов и 200 мм подложки;
• Два источника напыления;
• Водяное межслойное охлаждение;
• Твердотельное переключение для последовательного напыления;
• Cхема на однооперационном тринисторе для точного управления температурой;
• Отдельные затворы для источника и подложки;
• Экран от перекрестного загрязнения;
• Кварцевый датчик толщины;
• Механизм блокировки с поворотным замком для быстрой загрузки/разгрузки держателя для подложек;
• Вращение подложки;
• Управление напылением с замкнутым контуром;
• Полная автоматизация процесса под управлением ПК в соответствии с заданной программой;
• Интерфейс пользователя, разработанный в среде LabVIEW;
• Средства аварийного отключения и защитные блокировки.

Опции

• Нагрев подложки до 800°C либо охлаждение;
• Осаждение при угле скольжения (GLAD) с вращением;
• Планетарный держатель подложки;
• Дополнительный источник питания для совместного напыления;
• До 6 дополнительных источников напыления;
• РЧ/DC смещение;
• Ионный источник для очистки подложки;
• Магнетронный источник для распыления;
• Контроллеры массового расхода для реактивного распыления/напыления;
• Автоматическая загрузка/разгрузка;
• Различные варианты насосов, включая крио-насосные станции.

Область применения

• Металлизация соединений интегральных схем;
• Нанесение металлического контактного слоя при работе с медь-индий-диселенидом галлия;
• Органические полевые транзисторы;
• Перовскитные солнечные батареи;
• Органические светодиоды.

Напыление алюминия на кремниевую подложку