planarGROW-6Е – простая в управлении установка «под ключ» для проведения исследований, сконструированная в соответствии с современными стандартами безопасности. Система позволяет работать с различными газами, проводить процессы при атмосферном давлении и в вакууме.
Данная установка имеет реактор большого диаметра и может работать с подложками шириной 150 мм и длиной до 1,5 метра.
Система planarGROW-2S™ компании planarTECH является передовым инструментом использующим процесс термического химического осаждения паров с использованием металлических катализаторов для синтеза широкого круга наноструктурированных материалов.
Установка модели planarGROW-6Е используется для выпуска малых партий 2D- материалов: углеродных нанотрубок, графена, MoS2.
Рабочая камера |
Кварц, размеры (Диам х Дл): 150 х 1500 мм |
Печь |
3-зонная, Кантал, Макс. 1100 °С (150 х 1000мм) |
Вакуумный насос |
600 л/мин, пластинчато-роторный турбомолекулярный насос |
Рабочие газы |
Аргон-1000 мл/мин, H2-100 мл/мин, CH4-200 мл/мин |
Управление |
Полный автомат с управлением через сенсорный экран PLC |