Описание:

EasyTube 6000 - современная промышленная высокопроизводительная система с горизонтальной печью любых термических CVD-процессов (APCVD), окисления, отжига, диффузионных и плазменных процессов, CVD-процессов при пониженном давлении (LPCVD). Различные конфигурации установок, от 1 до 4 реакционных камер для работы при атмосферном давлении или в вакууме (с возможностью последующего дооснащения), позволяют значительно экономить рабочее пространство. Конструкция камеры зависит от процессов, для которых она будет применяться (один или несколько процессов в одной камере).

Система оснащена консольной системой загрузки с HEPA фильтром. Такая конфигурация уменьшает генерацию частиц в реакторе и позволяет работать с кусками пластин, отдельными пластинами или массивом пластин.

Система EasyTube 6000 сконструирована в соответствии с современными стандартами по безопасности, может эксплуатироваться практически с любыми газами и высокотоксичными компонентами, включая силан, герман, диборан, фосфин, HCl и металл‐органические прекурсоры.

 

Область применения:

• Процессы (основные).
• Промышленное производство подложек с выращенным массивом вертикально-ориентированных углеродных нанотрубок.

 

Окисление:

• Сухое (кислород).
• Влажное (подача из испарителя -барботера).
• Пирогенное окисление с использованием отдельной камеры  для получения чистого пара.

 

Диффузия и отжиг:

• Инертный газ.
• Рабочий газ.
• Газ специального назначения.
• Внесение примесей (легирование) с подачей из источника с жидким прекурсором.
• Внесение примесей (легирование) с подачей из газообразного источника.
• Внесение примесей (легирование) с подачей от твердого источника.

 

LPCVD:

• Поликремний.
• Диоксид кремния.
• Нитрид кремния.
• Оксинитрид кремния.

 

Конфигурация:

• Левосторонняя.
• Правосторонняя.
• Реакторы вертикально сверху.
• Ballroom.

 

Стандартная спецификация:

• Компьютерное программное обеспечение, позволяющее контролировать процессы, хранить данные, работать с интерфейсом безопасности и генератором рецептов для компьютеров на базе MS Windows.
• От 1 до 4-х реакционных камер.
• 3-зонная резистивная печь (опционально – 5-зонная).
• До 25-50 пластин/цикл, в зависимости от процесса (более высокие производительности – по запросу).
• Запатентованная каскадная система контроля температуры в режиме реального времени.
• Консольная система автоматической загрузки.
• Работа с подложками до 150 мм (4 реактора) с подложками до 200 мм и больше  (3 реактора).
• Газовые линии сверхвысокого давления с расходомерами – 4шт. (для каждой камеры).
• Процессы при атмосферном давлении или в вакууме.
• Программируемые предупреждения и сигналы тревоги.
• Гарантия 12 месяцев.
• Интуитивно понятное ПО и система взаимоблокировки устройств.
• Сертификация Semi – S2/S8 и CE®.