Easy Tube 5000 -   это установка для исследовательских задач при осаждении разных III – V и  II – VI пленок.

Система работает с подложками до 150 мм в диаметре и осуществляет следующие процессы:

• III-V (GaN, GaAs, AlGaN, InP, др.).
• II-VI (ZnO, ZnS).
• IV (Si, Ge, Напряженные пленки Si).
• Пленки разных составов

Возможность расширения для работы с подложками больше чем 150 мм.