Установка для осаждения тонких пленок методом магнетронного распыления TFSP-840 - фото 1 - id-p172373497

Характеристики и описание

- Производитель
  VST
- Страна производитель
  Израиль

Область применения:

TFSP-840 – установка для осаждения тонких пленок методом магнетронного распыления. Применение: обучение, исследования и разработки, производство мелких и средних партий продукции.

Техническая спецификация:

Вакуумная камера	Прямоугольного типа из нержавеющей стали с полно-открываемой передней дверью и портом наблюдения на двери диаметром 100 мм
Система откачки	Турбомолекулярный или криогенный вакуумный насос, сухой спиральный или пластинчато-роторный форвакуумные насосы
Подложко-держатель	Вращаемый для подложек до 150 мм в диаметре
Источники	Один или несколько магнетронов
Режим работы	ВЧ, ПТ или импульсный ПТ
Газовые линии	1-4 канала с РРГ и запорными клапанами (конструкция клапанов с сильфонным уплотнением)

Опциональная спецификация:

Сеточный/бессеточный ионный источник.
Рабочая камера D-формы, камера типа колпак, камера для встройки в лицевую панель чистой комнаты и др.
Изолированный подложкодержатель для возможности травления или очистки.
Контроллер скорости и толщины осаждения с кварцевыми датчиками.
Датчик измерения резистивности пленок и контроллер.
Загрузочная камера для подачи подложек диаметром 75 мм.
Нагрев кварцевыми лампами.
Перестраиваемый по высоте привод подложкодержателя.
Шаговое позиционирование подложкодержателя.

Особенности:

Качество и надежность при доступной цене.
Компактная конструкция, небольшая занимаемая площадь.
Очень «гибкая» комплектация установок под требования заказчика.
Большое количество опций, в т. ч. загрузочные камеры разных модификаций, ручная или автоматическая загрузка.
Большой выбор опций катодов распыления, включая широкий ряд источников питания.