Рабочая камера

Нержавеющая сталь, с фронтальной загрузкой, кубической формы, 400х400х400 мм (внешние размеры), 3 фланца CF40 для вращения подложек, контроля температуры, нагрева и др., смотровое окно CF63

Источники

До 4-х резистивных источника с водяным охлаждением, либо сильноточный резистивный источник с замкнутым контуром (конкурирующий с электронно-лучевым источником до 2000°С). До 4-х LTE источников для распыления органических материалов. Электронно-лучевое испарение: 4х7 куб.см или 6х4 куб.см многокарманная пушка с автоматическим выбором кармана для многослойного последовательного осаждения. Распыление: до четырех 3” или 2” магнетронов с опцией автоматического соосаждения. Узел для реактивного ионного травления.

Подложки

Нагрев, охлаждение, наклон и перемещение пластин по вертикали (опции)