Область применения:

Установка модели Criterion имеет относительно небольшие габариты для системы, оснащенной загрузочным шлюзом и с изолированным источником (опции). Установка имеет уникальную конструкцию рамы и рабочей камеры, позволяющую размещать различные источники и их комбинации и дополнительное оборудование.

Применение: обучение, исследования и разработки, мелкосерийное производство.

Техническая спецификация:

• Вакуумная камера
  • Из нержавеющей стали, с водяным охлаждением
  • Размер: 584 х 508 х 660 мм (Г х Ш х В)
  • Объем камеры: 190 л
  • Расстояние до источника: 457 мм
• Подложкодержатели
  • Планетарного типа (образцы: 3 x 150мм / 5 x 125мм/ 7 x 100мм/ 10 x 75мм)
  • Lift-off (образцы:  9 x 100мм / 12 x 75мм)
  • C изменяемым углом (образцы 3 х 150 мм / 5 х 125 мм / 7 х 100 мм / 9 х 75 мм)
• Насосы
  • Диффузионный вакуумный насос (1550 л/с)
  • Турбомолекулярный вакуумный насос (1450 л/с )
  • Криогенный насос (1500 л/с)
• Система управления
  • Ручное
  • PLC - Сенсорный экран от Siemens
• Источники
  • Электронная пушка: 4 x 25см³/4 x 40см³/ 6 x 15см³/ 6 x 25см³
  • Резистивный источник
  • Термический источник с поворотом
  • Ассистирование ионным пучком