Область применения:

Установка модели Solution взяла много от своих старших предшественников – моделей MARK 50 и 40, например рубашку охлаждения камеры, которая позволяет оператору начать процесс при определенной температуре. Или достаточно большую камеру для того чтобы использовать самый большой электронно-лучевой источник. И безусловно, установка хороша, если она может использовать широкий инструментарий и это именно то, что Solution и предлагает своим пользователям.

Техническая спецификация:

• Вакуумная камера
  • Из нержавеющей стали, с водяным охлаждением.
  • Размер: 457 х 457 х 609 мм (Г х Ш х В)
  • Объем камеры: 127 л
  • Расстояние до источника: 381 мм
• Подложкодержатели
  • Планетарного типа (образцы: 3 x 150мм / 5 x 125мм/ 7 x 100мм/ 10 x 75мм)
  • Lift-off (образцы:  9 x 100мм / 12 x 75мм)
  • C изменяемым углом (образцы 3 х 150 мм / 5 х 125 мм / 7 х 100 мм / 9 х 75 мм)
• Насосы
  • Диффузионный вакуумный насос (1200 л/с)
  • Турбомолекулярный вакуумный насос (320 -600 л/с )
  • Криогенный насос (1100 л/с)
• Система управления
  • Ручное
  • PLC
  • Полуавтомат
  • Сенсорный экран от Siemens
• Источники
  • Электронная пушка: 4 x 25см3/4 x 40см3/ 6 x 15см3/ 6 x 25см3
  • Резистивный источник
  • Термический источник с поворотом