Raider M-Quattro - это автоматизированная высокопроизводительная однопластинчатая система для электрохимического осаждения c полностью автоматизированной системой обработки пластин и отдельными рабочими камерами. Процессы и наборы параметров, разработанные на платформе Raider M-Quattro, можно напрямую перенести на другую высокопроизводительную систему Raider GT ECD, что делает переход от научно-исследовательских работ к полному бесшовному и быстрому производству.

Характеристики

• До четырех технологических камер одного или нескольких типов для оптимизации производительности
• Малая занимаемая площадь (до 4,5 м2)
• Подложки до 300 мм
• Станция загрузки открытых кассет, SMIF и FOUP
• С возможностью химической обработки
• До четырех различных химикатов
• Встроенный блок питания для покрытия
• Возможность обнаружения момента завершения операции