Установка Nokota расширяет линейку систем электрохимического осаждения компании Applied Materials с высокопроизводительным корпусированием на уровне пластины. Устройство обеспечивает лучшие в своем классе характеристики для всего спектра операций нанесения покрытия, используемых в различных схемах корпусирования. Nokota может работать с компонентами Flip-Chip и корпусами на базе подложки кристалла, 2D-и 3D-разветвлениями, 2.5D-интерпозерной конструкцией и с использованием технологией переходных отверстий в кремнии. Установка может работать с пластинами 150 мм, 200 мм и 300 мм, а также с одновременной обработкой 150 мм / 200 мм и 200 мм / 300 мм пластин. Наиболее часто используемые металлы: медь, сплав олова и серебра, никель, золото, олово и палладий, однако, может работать и с другими компонентами.

Установка спроектирована таким образом, чтобы обеспечить наибольшую производительность, бесперебойную работу и защиту пластин, возможность расширения. Благодаря этим возможностями и минимальным затратам на эксплуатацию, установка нарабатывает до 330 дополнительных часов в год по сравнению с аналогами, что делает её самым надежным и высокопроизводительным устройством на рынке.

Уникальная система SafeSeal ™ обеспечивает максимальную защиту каждой пластины, их изолирование до начала обработки и защиту в течение одного либо нескольких процессов осаждения. Первичное испытание герметичности уплотнения, послеоперационная очистка и контроль гарантируют, что каждая пластина будет правильно герметизирована и защищена до начала процесса нанесения покрытия. Также уникальный для отрасли механизм HotSwap ™, который размещён за пределами рабочих камер, и автоматически производит замену SafeSeal без необходимости остановки производственного процесса. В целом эти две системы позволяют избегать брака пластин и полностью исключают простои установки по причине обслуживания или замены пластин. Рабочие камеры VMax ™ обеспечивают максимальный контроль техпроцесса для оптимальной копланарности при высоких скоростях нанесения покрытия. Каждая камера имеет встроенную систему очистки, которая позволяет запускать процесс промывки пластин сразу же после окончания технологического процесса.

Производительность Nokota значительно превышает производительность других систем на рынке, а в состав её модульной системы входят высоконадежные компоненты. Она имеет уникальную однокамерную конфигурацию (по сравнению с другими установками, имеющими, как правило, две камеры) для максимальной гибкости и возможности расширения системы от использования для научно-исследовательских работ до высокообъёмного производства. Возможность переконфигурирования (занимает менее 1 дня) делает систему Nokota идеальной для большинства специализирующихся на выпуске интегральных схем производств, выпускающих огромный ассортимент изделий с различными объёмами выпуска.