Описание:

PVD-10 – компактная вакуумная система, позволяющая одинаково качественно проводить процессы термического осаждения из паровой фазы или путем распыления мишени. Благодаря своему дизайну идеально подходит для лабораторий и повседневных научно исследовательских задач

Основные возможности:

• Испарители типа «лодочка, корзина, спираль и т.д.» до 10
• Возможность работы с органическими и неорганическими материалами
• Электронная пушка (4 ячейки по 6 см3 )
• От 1” до 4” магнетронные источники ВЧ, постоянного тока, постоянного тока с режимом пульсации
• До 4-х магнетронов размещенных сверху или снизу камеры
• Датчики потоков газов с регуляторами
• Регулировка давления дроссельной заслонкой
• Совмещение термических и магнетронных процессов

Контроль процесса:

• ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска
• Кварцевый и резистивный мониторинг
• Регулировка рабочего вакуума