Установка вакуумного напыления Vinci PVD-4 - фото 1 - id-p172373228

Характеристики и описание

Основные
- Производитель
  Vinci Technologies
- Страна производитель
  Франция

Описание:

PVD-4 – компактная вакуумная система, позволяющая одинаково качественно проводить процессы термического осаждения из паровой фазы или путем распыления мишени. Благодаря своему дизайну идеально подходит для лабораторий и повседневных научно исследовательских задач

Основные возможности:

Испарители типа «лодочка, корзина, спираль и т.д.» до 4-х
Возможность работы с органическими и неорганическими материалами
1” и 2” магнетронные источники ВЧ, постоянного тока, постоянного тока с режимом пульсации
До 3-х магнетронов размещенных сверху или снизу камеры
Регулировка давления дроссельной заслонкой
Совмещение термических и магнетронных процессов

Контроль процесса:

ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска
Кварцевый и резистивный мониторинг
Регулировка рабочего вакуума

Технические характеристики:

Функция	Система
Функция	PVD-4 E	PVD-4 S	PVD-4 H
Нагрев подложки (до 600° С)	x	x	x
Охлаждения подложки (до -150° С)	x	x	x
Вращения подложки	x	x	x
Магнетроны (до 3-х)	-	x	x
Расположение магнетронов снизу	-	x	-
Расположение магнетронов сверху	-	x	x
Термические источники (до 2-х)	x	-	x
Шлюзовый загрузчик	-	-	x
Изолирование держателя подложки для подачи смещения	-	x	x
Стеклянная камера	x	x	x
Кварцевый датчик	x	x	x
Возможность регулирования рабочего давления	-	x	x

Комплектующие:


MT-1000 : Манипулятор для подложек 1" с возможностью нагрева до 1000°С	MP-800 : Манипулятор для подложек до 2" / 800°C с возможностью подачи O2	MLN2-800 : Манипулятор -130°C / +800°C