Описание:

Семейство установок магнетронного напыления с вертикальной загрузкой.

Общая площадь напыления составляет 1,5 м2 и 2,2 м2 для моделей 1225 и 1232 соответственно. Позволяет напылять металлы, диэлектрики и TCO покрытия как на гибкие, так и на жесткие подложки. Для напыления диэлектриков используется технология сдвоенных магнетронов. Область применения – напыление поглощающих и олеофобных покрытий, светофильтров, производство LED
 

 

 

 

 

 

Основные возможности:

• Размеры подложки до 560*380 мм в случае жестких подложек
• До 6 магнетронных источников
• Очистка подложек ионным источником
• Однородность напыляемой пленки до 1% за счет модульной настраиваемой магнитной системы магнетронов
• Модульная конструкция подложкодержателя позволяет быстро переоснащать систему под подложки различных типоразмеров
• Возможность установки системы оптического контроля для отслеживания оптических свойств растущей пленки
• ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.