R-серия инструментов АСО PICOSUN, имеющая уникальный дизайн с горячими стенками внутренней камеры, верхней подачей прекурсоров и конструкцию с двойной камерой, гарантирует напыление плёнок АСО высочайшего качества. Плёнки обладают превосходной однородностью даже на поверхностях со сверхсложными структурами, такими как образцы со сквозными порами, микроканавки со свехвысоким соотношением геометрических размеров и на наночастицах порошков.

Высокофункциональные и легкозаменяемые системы источников прекурсоров для работы с жидкими, газообразными и твердыми химикатами позволяют осаждать материалы самого широкого диапазона (с отсутствием примесных частиц) на подложках, трехмерных объектах и структурах, имеющих особенности на нанометровых масштабах.