Описание:

Установка STE EB65G — производственная автоматизированная система электронно-лучевого напыления в высоком вакууме, обеспечивающая нанесение высококачественных многослойных тонкопленочных покрытий одновременно на групповую партию пластин.

Особенностью установки является двухкамерное построение, при котором нижняя камера, в которой установлен испаритель, может герметично отделяться от верхней для обеспечения быстрой откачки верхней камеры после процедуры загрузки следующей
партии пластин. Блок электронно-лучевого испарения при этом находится в условиях высокого вакуума и готов к немедленному проведению технологических процессов.

Использование производительного спирального насоса обеспечивает быструю откачку верхней камеры. Прямая откачка верхней камеры, в которой располагается держатель, криосорбционным насосом, обеспечивает максимально эффективную откачку
рабочего объема в ходе напыления. Высокий вакуум в камере электронно-лучевого испарителя поддерживается ионным насосом. В качестве дополнительного усиления откачки, а также для увеличения ресурса крионасоса предусмотрена постановка на
верхнюю камеру безмасляного турбомолекулярного насоса. Максимальное количество напыляемых пластин в одном процессе: 20х3” либо 12х100 мм, которые устанавливаются на держателе со сферическим профилем, учитывающим особенности процесса “lift-off”.

Конфигурация:

• Камера напыления с носителем образцов, ионной пушкой 20-300 еВ (опция).
• Камера электронно-лучевого испарителя. В качестве испарителя используется электронно-лучевой иcпаритель карусельного типа с мощностью катодного блока 10 кВт и ускоряющим напряжением до 10 кВ.
• Максимальное количество ячеек объемом 30 — 4 шт., объемом 15 — 6 шт.

Особенности конструкции:

• Маршевая система откачки на основе криосорбционного насоса производительностью 1000 л/с;
• Рабочая камера из нержавеющей стали с интегрированным водяным охлаждением стенок;
• Возможность прогрева камеры до 150°С с целью обезгаживания внутренних стенок в процессе откачки;
• Алюминиевый держатель пластин, рассчитанный на 20х3” либо 12х 100 мм (возможно изготовление под диаметр пластин 2” либо 150 мм);
• Система вращения держателя пластин;
• 12-ти позиционный опорный кварцевый толщиномер револьверного типа;
• Система слежения за отклонением факела распыления состоящая из четырех однопозиционных кварцевых толщиномеров (опция);
• Водяной экран для предотвращения запыления камеры распыляемыми материалами, а также для облегчения сбора и утилизации продуктов распыления;
• Предусмотренная возможность установки в качестве опции квадрупольного масс-спектрометра для контроля остаточной атмосферы в процессе напыления;
• Продуманная эргономика загрузки держателей и регламентного технического обслуживания блока электронно-лучевого испарения;
• Полностью автоматизированная система управления установкой с разграничением прав доступа инженер/оператор/наладчик.