Установка STE MS105 специально разработана для проведения процессов осаждения покрытий в вакууме методом магнетронного распыления. Благодаря гибкой конфигурации и специально разработанной конструкции нагревателя установка STE MS105 позволяет проводить процессы напыления плёнок металлов, магнитных материалов и многокомпонентных оксидов при температуре на подложке до 900оС, используя магнетронные мишени в качестве источников материалов.
Установка выполнена в виде отдельно стоящей системы с вынесенным насосом предварительной откачки.
Конструкция установки позволяет произвести монтаж через стену чистого помещения, при этом в чистой комнате располагается интерфейсный модуль системы и шлюз загрузки/выгрузки держателей образцов.
Доступны следующие версии манипулятора держателя образца:
Возможна подача следующих видов смещения на обрабатываемые образцы:
Особенности конструкции реактора:
Предельное остаточное давление в реакторе |
5х10-7 мм.рт.ст. |
Время достижение предпроцессного вакуума 5х10-6 мм.рт.ст. после вскрытия реактора на атмосферу при использовании ТМН 550 л/сек и спирального насоса 35 м3/час, не более |
30 мин |
Рекомендуемое давление в режиме работы магнетронов |
0,01 мм.рт.ст. |
Мощность магнетронного испарителя с размером мишени 3", кВт Постоянное смещение ВЧ смещение |
2 0.75 |
Диаметр поверхности, на которую производится напыление |
3” |
Максимальный диаметр образца при опциональном узле нагрева до 900оС |
150 мм |
ВЧ смещение на образец, МГц |
13,56 |
Переменное смещение на образец, МГц |
1 |