Схема (подложкодержатель)
Простота установки подложкодержателей и керамических пластин.
Процессы |
Cr, Ti, Cu, или другие |
Процессы |
|
Равномерность по толщине |
≤ ±3% (по пластине, от пластины к пластине @2,000Å) |
Равномерность по толщине |
|
Количество магнетронов |
6 шт |
Количество магнетронов |
|
Размер пластины (образца) |
60 мм* 48 мм |
Размер пластины (образца) |
|
Загрузка пластин |
100 пластин за процесс (25 подложкодержателей, 4 пластины на каждый) |
Загрузка пластин |
|
Источник питания постоянного тока |
5 кВт, 2 шт. |
Источник питания постоянного тока |
|
Пороговое давление |
7×10-7 Торр |
Пороговое давление |
|
Измерение расхода газа |
Регулятор массового расхода (MFC) |
Измерение расхода газа |
|
Контроль давления |
Автоматический (контроллер автоматического регулирования давления), пластинчатый дроссельный клапан, баратрон |
Контроль давления |
|
Управление |
Персональный компьютер |
Управление |
|
Типы процессов |
Очистка с обеих сторон, нагрев и распыление |
Типы процессов |
|
Источник питания |
|||
Источник питания постоянного тока (2 шт., для процесса) |
Выходная мощность |
5 кВт |
|
Регулировка |
Напряжение/ мощность/ ток |
||
Управление |
С компьютера, удаленное, вручную |
||
Переключение |
3 выходных канала |
||
РЧ источник питания (предварительная очистка) |
РЧ генератор |
Частота |
|
Выходная мощность |
600 Вт |
||
Цифровой РЧ ваттметр |
|||
РЧ сеть |
Тип управления |
Автоматический |
|
Частота |
13,56 МГц |
||
РЧ кабель |
|||
Вакуум |
|||
Вакуумный насос |
Криогенный насос |
Скорость откачки |
|
Гелиевый компрессор |
|||
Датчик температуры |
|||
Нагреватель продувочного газа |
|||
Безмасляный насос |
Скорость откачки |
||
Предельное давление |
7 ×10-7 Торр |
||
Измерение давления |
Измерение высокого вакуума |
Иономер с горячим катодом |
|
Измерение низкого вакуума |
Конвектрон |
||
Индикатор давления и набор кабелей |
|||
Контроль давления |
APC (Контроллер автоматического регулирования давления) |
Электрический пластинчатый дроссельный клапан (ETV) |
|
Контроллер ETV |
|||
Баратрон |
|||
Вакуумная заслонка |
Основная заслонка |
Пневматический вакуумный затвор |
|
Форвакуумный вентиль |
Пневматический угловой вентиль |
||
Грубый линейный клапан |
Пневматический угловой вентиль |
||
Вакуумная линия |
Линия из нержавеющей стали и сильфоновая линия |
||
Авто вакуумная лилия (Auto vent line) |
|||
Газы |
|||
Регулирование расхода газа |
Для процесса |
Ar |
Регулятор массового расхода (MFC) 1 шт. |
O2 |
Регулятор массового расхода (MFC) 1 шт. |
||
N2 |
Регулятор массового расхода (MFC) 1 шт. (в зависимости от требований заказчика) |
||
Для продувки и вентилирования |
N2 |
Регулятор потока (Metering valve) |
|
Газовые клапаны и газовая линия |
Использует пневматический мембранный вентиль |
||
Регулятор потока для продувки и вентилирования камеры азотом |
|||
Трубки из нержавеющей стали (316L), электро-полированные |
|||
Все газовые линии свариваются методом автоматической сварки с VCR фитингом |
|||
Газовые линии прошли тест на утечку гелия 10-8 Торр·л/сек. |
|||
Управление системой |
|||
Управление |
Автоматическое управление посредством компьютера |
Компьютер (PENTIUM, 17” LCD) |
|
Встроенная карточка аналоговых и цифровых входов/выходов |
|||
Программное обеспечение |
|||
Удобный и дружественный пользовательский интерфейс |
|||
Запись технологических данных |
|||
Изменение, сохранение, загрузка и запуск рецептов |
|||
Стандартный пульт управления(19” standard control panel) |
Электрико-механические панели |
Включение/выключение |
|
Аварийный выключатель |
|||
Размыкатель |
|||
Панель контроллера вакуумметра |
|||
Панель индикатора температуры криогенного насоса |
|||
Панель источника питания постоянного тока |
|||
Панель управления вращением подложкодержателей |
|||
Управление температурой нагревателей |
Термопара |
К-типа (K-type) |
|
Автоматический контроллер температуры (контроль окружающей среды камеры и обратная связь) |
|||
Статический выпрямитель тока (SCR unit) |
Электрическое управление мощностью |